四探針測試儀 四探針電阻率測試儀 四探針檢測儀 單測四探針檢測儀（接電腦）

四探針測試儀 四探針電阻率測試儀 四探針檢測儀 單測四探針檢測儀（接電腦）

產(chǎn)品編號：TC-000288

GR-RTS-4型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的儀器。
    儀器由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
    儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn)。
    本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
GR-RTS-4型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運(yùn)行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
    測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析
技術(shù)參數(shù)：
 測量范圍 電阻率：0.001～200Ω.cm（可擴(kuò)展）；  
 方塊電阻：0.01～2000Ω/□（可擴(kuò)展）； 
 電導(dǎo)率：0.005～1000 s/cm； 
 電阻：0.001～200Ω.cm； 

可測晶片直徑 140mmX150mm（配S-2A型測試臺）；
 200mmX200mm（配S-2B型測試臺）；
 400mmX500mm（配S-2C型測試臺）；
恒流源 電流量程分為0.1mA、1mA、10mA、100mA四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表 量程及表示形式：000.00～199.99mV；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ；
 精度：±0.1% ；
 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動顯示；
四探針探頭基本指標(biāo) 間距：1±0.01mm；
 針間緣電阻：≥1000MΩ； 
 機(jī)械游移率：≤0.3%；
 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm；
 探針壓力：5～16 牛頓（總力）；
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) （見探頭附帶的合格證）
模擬電阻測量相對誤差
（ 按JJG508-87進(jìn)行） 0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字
整機(jī)測量zui大相對誤差（用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測試）≤±5%
整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 ≤5%
計算機(jī)通訊接口 并口
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 溫度：23±2℃；
 相對濕度：≤65%；
 無高頻干擾；
 無強(qiáng)光直射

數(shù)字式四探針測試儀型號：SZT-1

SZT-1型數(shù)字式四探針測試儀是運(yùn)用四探針測量原理 的多用途綜合測量裝置。它可以測量片狀、快狀半導(dǎo)體材料徑向和軸向電阻率，測量片狀半導(dǎo)體材料的電阻率和擴(kuò)散層的薄層電阻（方塊電阻），換上特制的四探針測試夾，還可以對金屬導(dǎo)體的低中值電阻進(jìn)行測量。此外，探針經(jīng)過特殊加工后，還可以測量薄膜材料電阻率。廣泛適用于半導(dǎo)體材料、器件廠、高等院?；瘜W(xué)物理系、科研單位，對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。 
本儀器測試探頭采用寶石導(dǎo)向軸套和高耐磨碳化鎢探針，定位準(zhǔn)確，游移率小，使用壽命長。 
SZT-1型數(shù)字式四探針測試儀技術(shù)參數(shù)： 
1． 測量范圍： 
電阻率：10的-4次方~10的3 次方Ω-cm 
方塊電阻：10的-3次方 ~10的4 次方Ω/□ 
電阻：10的-6次方 ~10的5 次方Ω 
導(dǎo)電類型鑒別：電阻率范圍 10的-4 次方~10 的3次方Ω—cm 
2． 可測半導(dǎo)體材料尺寸 
直徑：φ15~100 mm 
長度：≤400mm 
3． 測量方法： 
軸向、斷面均可 
4． 顯示方式：31/2,數(shù)顯,性、過載自動顯示，小數(shù)點(diǎn)、單位自動顯示。 
5． 恒流源： 
（1） 電流輸出：直流電流0~100 mA連續(xù)可調(diào)。 
（2） 量程：10、100μA、1、10、100mA 
（3） 誤差：±0.5%讀數(shù)±2個字 
6.四探針測試探頭 
(1) 探針間距:1mm 
(2) 材料:碳化鎢.探針機(jī)械游移率:±1.0% 
7.電源:220±10% 50Hz或60Hz 功耗:＜35W 

半導(dǎo)體材料檢測儀型號：TH2661

性能特點(diǎn) 
■ 大屏幕液晶顯示  
■ 采用SMT表面貼裝工藝  
■ 可手動或自動選擇合適的電流源量程  
■ 電流源方向有正方向、反方向和正反方向三種選擇  
■ 預(yù)設(shè)樣片厚度，自動修正，直讀電阻率  
■ 報警門限預(yù)設(shè)，可用于HI PASS LOW 分選  
■ 200個讀數(shù)存儲，可對存儲讀數(shù)求zui大值、zui小值和標(biāo)準(zhǔn)偏差值 等數(shù)學(xué)統(tǒng)計  
■ USB通訊功能，可通過上位機(jī)軟件對手持表進(jìn)行操作  
■ 1%電阻基本精度  
■ 讀數(shù)穩(wěn)定性好  
■ 自動關(guān)機(jī)功能  
■ 電池及外接電源供電方式  

簡要介紹  
■ TH2661型手持式四探針測試儀，可測量片狀、塊狀半導(dǎo)體材料的徑向和軸向電阻率及擴(kuò)散層的薄層電阻，適用于半導(dǎo)體和太陽能材料測試的要求，也可對分立電阻進(jìn)行測量，USB接口可為用戶提供遠(yuǎn)程控制及測試數(shù)據(jù)的統(tǒng)計和分析。  
由于采用了電池和外接電源兩種供電方式，既能適應(yīng)固定場合對元器件進(jìn)行檢測，又可隨身攜帶以滿足測試人員的現(xiàn)場測試要求。  

 TH2661型手持式四探針測試儀技術(shù)參數(shù)  
測 量 功 能  
測試參數(shù) 電壓, 電阻率, 方阻, 電阻  
測量不確定度 ≤5%  
恒流源 100nA, 1uA, 10uA, 100uA, 1mA, 3.3mA  
電流方向 正向 反向 正反向  
數(shù)學(xué)功能 對值偏差, 百分比偏差  
量程方式 自動, 保持  
觸發(fā)方式 連續(xù)、數(shù)據(jù)鎖定  
測試速度 約 3 次/秒  
校準(zhǔn)功能 短路清零  
測試端配置 四端測量  
顯示方式 直讀，Δ%，ΔABS 
顯示器 五位LCD顯示  
測量顯示范圍  
電壓 2— 220mV  
電阻率 0.01Ω·cm — 100kΩ·cm  
方阻 0.1Ω/□ — 1MΩ/□  
電阻 0.1 Ω — 200kΩ  
Δ% -999.9% — 999.99%  
分選  
分選 HI PASS LOW  
一般技術(shù)指標(biāo)  
工作環(huán)境 溫度 0℃ - 40℃  
濕度 ≤75% R.H.  
電源要求 電源適配器 輸出12Vdc 
內(nèi)部電池 GP17R8H可充電電池，9Vdc 
工作電流 ≤ 32mA  
體積(mm)95(W)×200(H)×40(D)  
 TH2661型手持式四探針測試儀重量 約0.4kg 
隨機(jī)附件1 TH2661 上位機(jī)軟件光盤  
隨機(jī)附件2 TH26611 四探針測試探頭  
隨機(jī)附件3 TH26028 交流電源適配器  
隨機(jī)附件4 GP17R8H 可充電電池